LMSP系列 X-Y平臺(tái) 整合位置感測器可作閉迴路控制 採用空氣軸承故無磨耗 磁場不外漏,不影響周圍設(shè)備 無溫升問題 可倒吊安裝 定子面積可達(dá)1000x1000 mm
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